■ ダイヤルゲージの採用により、プローブピンの接触圧を精密に設定・管理できるため測定条件の再現が容易
■ ±0.05 mmの高精度アライメント機構により、プロービング平行度の安定性、測定データの再現性が安定
■ プローブバーは疑似太陽光による影の影響を最小にする薄くて強固なバー構造*1)
■ プローブバーは低抵抗で、4端子法
■ プローブピンは、100万回の接触耐久性を保証
■ 10~80℃ 循環水に対応するセル試料プレートにより、 セル温度特性評価にも対応可能*2)
■ セルの脱着が容易な、上部開放構造
■ セルへのプロービングはワンアクション操作で完了
■ セル吸着機能を標準装備*3)
■ セル温度測定用熱電対を標準装備
■ セル試料プレート温度測定用Pt100測温体を標準装備
■ 表面/裏面プローブは、2、3、4本のバーに対応
■ 対象セルサイズ □50 mm ~ 4 、5,6 inchサイズに対応可能
■ 試料プレート面の高さ:170 ㎜(約30 ㎜の調整が可能)
*1)標準仕様品は t = 1.5 mm 幅のプローブバーを搭載、 t = 0.5 mm 幅のプローブバーはオプションで提供可能です
*2)循環水装置はオプションになります。
*3)真空ポンプはオプションになります。